业务领域

我司依托真空技术、热技术与自动化技术等核心技术,
开展二次电池、太阳能、显示器/清洁运输、工厂自动化、
机器人技术等项目,并围绕高附加值项目进一步延伸产品组合、
打开国外市场、研发最前沿设备、加强生产及SW实力,
从而成为全球综合工序设备及智能方案的领航者。

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显示器/清洁物流

显示器/清洁物流 设备是专为清洁制造工序设计的高清洁自动化设备,采用了粒子控制(Particle control)与高速&低震动设计技术,根据顾客所需的配置,提供最佳的定制型清洁自动化全方位(Total Solution)方案。

在显示器领域,韩华通过对最初的显像管(CRT)至PDP、LCD、 OLED持续不间断地研发,正在持续地向全球生产并供应生产设备。 IR CLEAN OVEN设备凭借独创的差别化技术在世界市场占有率排名上稳居第一。

用于LCD的IR CLEAN OVEN(红外线无尘烘箱)
用于LCDIR CLEAN OVEN(红外线无尘烘箱)
是一款通过远红外线(IR)加热器对LCD基板进行加热、烘干、焙烧的设备。在LCD制造工序中将涂渍溶液(Photo Resist)、配向膜(Polyimid)印刷后,再进行焙烧及清洗后用作烘干机使用的烘箱(Oven)。从小型机起到至今的第八代Glass,我们积累了各种经验与成果,为国内外所有的客户供应该款产品。
具备卓越性能的远红外线加热器(IR Heater)与通风系统使高精度的温控与最优秀的脱气(Out Gasing)成为可能。是一款具备高清洁度(Class 10)、持久耐用性、节约安装空间、节省运营费用等诸多有点的设备。
用于OLED的IR CLEAN OVEN(红外线无尘烘箱)
OLED的IR CLEAN OVEN(红外线无尘烘箱)
是一款通过远红外线(IR)加热器对OLED基板进行加热、烘干、焙烧的装备。在OLED制造工序中焙烧及清洗后用作烘干机使用的烘箱(Oven)。
作为OLED焙烧工序中最优质的装备,在世界市场中占有最大份额。具备卓越性能的远红外线加热器(IR Heater)与通风系统使高精度的温控与最优秀的脱气(Out Gasing)成为可能。是一款具备高清洁度(Class 10)、持久耐用性、节约安装空间、节省运营费用等诸多有点的设备。 而且还可以展现O2浓度控制等最新工序技术潮流。
洁净立库(Clean Stocker)(玻璃卡匣)
洁净立库(Clean Stocker)(玻璃卡匣)
是储存/保管/送还玻璃卡匣(Glass Cassette)的显示器清洁自动化设备。可根据顾客所需提供定制型的配置。

规格

  • 环境清洁度:级别10~级别1000
  • 有效负载:最大1,000公斤
  • 速度:最大3.5米/秒
  • 货叉加载时间:11秒以内
BRC (高架输送器:Overhead Conveyor System,OCS)
BRC (高架输送器:Overhead Conveyor System,OCS)
是物流设备间送还玻璃卡匣(Glass Cassette)的显示器清洁自动化设备。可根据顾客所需提供定制型的配置。

规格

  • 环境清洁度:级别10~级别1000
  • 有效负载:最大1,000公斤
  • 速度:最大2米/秒
清洁升降机
清洁升降机
是楼层间送还玻璃卡匣(Glass Cassette)的显示器清洁自动化设备。可根据顾客所需提供定制型的配置。

规格

  • 环境清洁度:级别10~级别1000
  • 有效负载:最大1,000公斤
  • 速度:最大2米/秒
  • 高度:最大90米
洁净立库(Clean Stocker)(Wafer FOUP&FOSB&POD&Cassette)
洁净立库(Clean Stocker) (Wafer FOUP&FOSB&POD&Cassette)
通过半导体洁净物流设备,存储/分类Wafer FOUP, FOSB, POD, Cassette的自动存储系统(Auto Storage System)可呈现符合不同半导体种类要求配置的Chamber Type、Rack Type等各种不同的形态。

规格

  • 环境清洁等级: Class1~Class1000
  • 速度:1.5m/秒
  • 升/降时间:2.5m/sec2
  • 震动:RMS 0.5 G以下
  • 清洗:平时PN2 Purge构成
  • 环境控制:湿度、温度、压力、氧气浓度
Clean Lifter
Clean Lifter
是一款半导体清净设备,可将半导体Wafer FOUP&FOSB按照各个层进行运输的自动升降&存储系统(Auto Lift&Storage System)。

规格

  • 升降行程:最大60mm
  • 升降速度:360m/分
  • 货叉装载时间:3秒以内
  • 升/降时间:2m/ sec2
  • 震动:RMS 0.8G以下
AGV(移动机器人)
AGV(移动机器人)
为实现制造工序的无人化,基于多元化平台及自主开发管制技术,将AGV(Automated Guided Vehicle)即自动导引运输车商品化。其中,移动机器人(Mobile Robot)由最适用于控制小型货物运输机的行驶装置与协同机器人组成。

规格

  • 速度:1.0 m/s
  • 驱动轮类型:2种不同的驱动,4轮(可定制)
  • 导航类型:激光反射器、无人驾驶技术(SLAM)、二维码-远景导航
  • 通信:无线局域网(WLAN)
  • 电池:LiFePO4